2 - Überblick über die Si-Technologie [ID:15336]
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Überblick über die Si-Technologie

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Teil einer Videoserie :
Prozessintegration und Bauelementearchitekturen

Presenters

PD Dr. Tobias Erlbacher PD Dr. Tobias Erlbacher

Zugänglich über

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Dauer

01:32:31 Min

Aufnahmedatum

2020-05-08

Hochgeladen am

2020-05-08 22:59:04

Sprache

de-DE

Tags

iso technologie schaltungen bauelemente schichten schicht diffusion oxidation partikel reinraum scheiben verunreinigungen implantation lack photolack schichtabscheidung silicium kristallzucht maskierung lithographie polysilicium substrat pvd metalle