13 - Halbleitertechnologie I - Technologie integrierter Schaltungen (HLT I) 2022/2023/ClipID:46019 previous clip next clip

Recording date 2022-12-05

Language

German

Organisational Unit

Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg

Producer

Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg

In diesem Kurs finden Sie die Aufzeichnungen der Vorlesung HLT I des WS22/23.

In diesem Modul werden die wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen behandelt. Ausgehend von der Frage nach den relevanten Parametern chemischer und physikalischer Herstellungsprozesse werden zu Beginn die Verfahren und Methoden zur Herstellung von einkristallinen Siliziumkristallen besprochen. Anschließend werden die physikalischen und chemischen Grundlagen der Oxidation, der Dotierverfahren Diffusion und Ionenimplantation sowie der physikalischen und chemischen Gasphasenabscheidung von dünnen Schichten behandelt. Eine Einführung in die relevanten Lithographie- und Strukturierungsverfahren beendet den Kanon der wesentlichen Technologieschritte zur Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente. Ergänzend dazu werden Sequenzen von Prozessabläufen, wie sie heute bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltungen wie Mikroprozessoren oder Speichern verwendet werden, besprochen.

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