4-stündige Vorlesungdes „Master of Science“-Studienganges „Elektrotechnik und Informationstechnik“ im Sommersemester (ungerade Jahre)
Kenntnis und Grundverständnis der grundlegenden Funktionsweise und des prinzipiellen Aufbaus einer Halbleiterchipfabrikund der dafür erforderlichen Schlüsselbegriffe:
„Technologisches Vermögen“ & „Produktivität“,
„Logistik & Markt“ und
„Statistische Prozesskontrolle“.
Besonderes Augenmerk wird dabei auf die:
Qualität & Zuverlässigkeit,
Ausbeute & Ausfall-/ Fehlermechanismen
mikro- und nanoelektronischer Halbleiterchips/ -bauelemente gelegt