Prozessintegration und Bauelementearchitekturen 2021 /CoursesID:1009

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Keywords: CMOS architektur flash energie modell gate iso speicherzelle programmierung speicher source design geschwindigkeit spannung wahrscheinlichkeit technologien technologie inversion schaltungen kondensator

Most recent entry on 2020-07-17 

Organisational Unit

Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Recording type

Vorlesungsreihe

Language

German

In dieser Vorlesung werden die physikalischen Anforderungen an integrierte Bauelemente und deren Umgebung definiert und Lösungsansätze anhand von Prozess-Sequenzen vorgestellt. Insbesondere soll dabei dargelegt werden, wie durch die stetige Verkleinerung der Strukturen neue prozesstechnische Verfahren zur Einhaltung der an die Technologie gestellten Forderungen notwendig werden.

In einer Einleitung werden kurz die Methoden der Herstellung (vgl. Technologie integrierter Schaltungen) vorgestellt. Die für Mikroprozessoren und Logikschaltungen wichtige CMOS-Technik wird im Anschluss daran ausführlich behandelt, gefolgt von der Bipolartechnik und der BiCMOS-Technik, bei der sowohl CMOS, als auch Bipolarschaltungen auf einem Chip integriert werden. Der nächste Vorlesungsabschnitt widmet sich den statischen und dynamischen Speichern, hier werden sowohl die wichtigsten Speicherarten (DRAM, SRAM, EPROM, Flash) vorgestellt, als auch die notwendigen Technologieschritte. Ein kurzes Kapitel befasst sich mit dem Aufbau von Leistungsbaulelementen. Die Problematik der Metallisierung sowie die Aufbau- und Verbindungstechnik, die für alle Bauelemente ähnlich ist, wird im Anschluss behandelt. Das letzte Kapitel beinhaltet Aspekte zur Ausbeute und Zuverlässigkeit von Bauelementen.

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Episode
Title
Lecturer
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Duration
Media
1
Einleitung
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-04-24
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01:09:21
2
Überblick über die Si-Technologie
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-05-08
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01:32:31
3
CMOS-Bauelemente (Teil 1)
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-05-15
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01:36:15
4
CMOS-Bauelemente (Teil 2)
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-05-22
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01:31:56
5
CMOS-Technik (Teil 1)
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-05-29
IdM-login / Passwort
01:32:12
6
CMOS-Technik (Teil 2)
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-06-05
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01:21:42
7
Speicher
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-06-12
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01:40:12
8
Bipolar und BiCMOS-Technik
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-06-19
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01:26:34
9
Leistungsbauelemente
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-06-26
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01:23:37
10
Mehrlagenmetallisierung
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-07-03
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01:28:36
11
Aufbau- und Verbindungstechnik
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-07-10
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01:28:17
12
Ausbeute und Zuverlässigkeit
PD Dr. Tobias Erlbacher
2020-07-17
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01:29:10

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