IHT-Stuttgart Lecture Series - Halbleitertechnik II (HL II) - Nano CMOS Ära 2021 /CoursesID:2721

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Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

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English

In diesem Kurs wird der MOSFET und der Skalierungspfad des MOSFET detailliert besprochen. Dabei werden zuerst die Zustände des MOS-Varaktors beleuchtet und darauf aufbauend die Langkanalkennlinien des MOSFET hergeleitet. Die bei der Skalierung des MOSFET auftretenden Kurzkanaleffekte, wie der DIBL oder der GIDL werden erklärt und entsprechende technische Gegenmaßnahmen werden diskutiert. Abschließend werden auch moderne Transistorkonzepte, wie der FinFET oder Nano-Sheet Transistoren behandelt.

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